"Високочастотне розпилення" (ID:416328)

ВСТУП Як нам відомо, зараз всюди застосовують різні покриття на поверхні, пояснення цьому є безліч, від банального естетичної краси до захисних функцій. Для нанесення цих матеріалів використовують різні методи. Однак, не менш важливими поверхневі покриття є для електроніки. В цій галузі вони застосовуються для формування різноманітних деталей, мікросхем та мікрозборок. Їх застосування не нове для промисловості, але зараз постає питання використовувати найефективніший метод, який би міг використовуватись для різних матеріалів, мав високу продуктивність та чистоту кінцевого продукту. Таким методом являється високочастотне напилення. Через те що, це метод дає змогу наносити покриття, як металів та і діелектриків (це є одним з вирішальних факторів). А при магнетронному високочастотному напиленні цей позитивний момент можна покращити зміною швидкості напилення. Через те що в камерах для такого нанесення тиск, ще нижчий, то й швидкість осідання розпорошеного матеріалу буде кращою. Тому виходячи з цього можна сказати, що дослідження даного методу є актуальним. Попри те, що метод не новий, знаючи його характеристики та природу дії, можна покращити та сформувати картину можливої автоматизації даного процесу (адже в цьому процесі приймає участь людина – шляхом супроводження роботи). Мета роботи: дослідити та виявити ключові відмінності високочастотного напилення серед інших вакуумних методів. Для досягнення встановленої мети були поставлені наступні завдання: 1. Ознайомитись з характеристиками поверхневих покриттів; 2. Дослідити алгоритм підготовки поверхні; 3. Проаналізувати всі сучасні методи нанесення покриттів в електроніці та виокремити відмінність високочастотного напилення; 4. Зробити висновки щодо використання даного методу.